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怎樣運用潔凈工程來搞好溫濕度控制

日期:2019年11月19日 20:22
   環境保護愈來愈遭受大家的關心,特別是在是霧霾污染的增加。潔凈工程溫濕度控制是環境保護措施之一,怎樣運用潔凈工程來搞好環保工作,下邊而言說潔凈工程中的溫濕度控制。
   1、凈化室中的溫濕度控制
 
     清潔室內空間的溫濕度控制關鍵是依據加工工藝規定來明確,但在考慮加工工藝規定的標準下,應充分考慮 人的舒適感感。隨之氣體潔凈度等級規定的提升,出現了加工工藝對溫濕度控制的規定也愈來愈嚴的發展趨勢。
 
   實際加工工藝對溫度的規定之后也要例舉,但做為總體標準看,因為生產加工精密度愈來愈細致,因此對溫濕度控制起伏范疇的規定愈來愈小。比如在規模性集成電路芯片生產制造的光刻曝出加工工藝中,做為掩膜板原材料的夾層玻璃與硅單晶的線膨脹系數的差規定愈來愈小。
   直經100 um的硅單晶,溫度升高1度,就造成了0.24um線形澎漲,因此務必有±0.1度的控溫,另外規定環境濕度值一般較低,由于人流汗之后,對商品將有環境污染,非常是怕鈉的半導體材料生產車間,這類生產車間不適合超出25度。
 
   環境濕度過高造成的難題大量??諝鉂穸瘸?5%時,冷卻循環水壁厚上面冷凝水,假如產生在高精密設備或電源電路中,就會造成各種各樣安全事故??諝鉂穸仍?0%最易銹蝕。除此之外,環境濕度太高時將根據氣體中的氧分子把硅單晶表層黏著的塵土有機化學吸咐在表層耐無法消除。
 
   空氣濕度越高,黏附的難除掉,但當空氣濕度小于30%時,又因為靜電力的功效使物體也非常容易吸咐于表層,另外很多集成電路工藝非常容易產生熱擊穿。針對硅單晶生產制造最好溫度范疇為35—45%。
 
   2、凈化室中的標準氣壓要求
 
   針對絕大多數清潔室內空間,為了避免外部環境污染入侵,必須維持內部的工作壓力(負壓)高過外界的工作壓力(負壓)。壓差的保持一般應合乎下列標準:
 
   1.清潔室內空間的溫濕度控制工作壓力要高過非清潔室內空間的工作壓力。
 
   2.潔凈度等級級別高的室內空間的工作壓力要高過鄰近的潔凈度等級級別低的室內空間的工作壓力。
 
   3.互通凈化室中間的門要開向潔凈度等級級別高的屋子。
 
   壓差的保持借助排風量,這一排風量能夠賠償在這里一壓差下從間隙泄漏掉的排風量。因此壓差的物理學實際意義就是說泄漏(或滲入)排風量根據凈化室的各種各樣間隙時的溫濕度控制。

所屬類別: 行業新聞

該資訊的關鍵詞為:溫濕度控制 

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